(二)?超臨界流體二氧化碳SCCO2(Supercritical Carbon Dioxide)技術應用

◆為什么選擇二氧化碳應用?

基本上，多種氣體包括水均可做為超臨界流體介質但其中就屬CO2最為常用。主要是由于CO2在接近常溫及常態大氣壓力的條件下，輕易即可達到超臨界控制點，因此，二氧化碳成為目前超臨界流體技術運用的最佳介質。

※易于達到臨界點(臨界壓力Pc=73.8bar，臨界溫度Tc=31.1℃ )?
※易于取得、費用便宜，安全性高!?
※無毒、無色、無臭、具不燃性、不產生光化學反應
※對環境友善(不破壞臭氧層、不產生煙霧)?
※溶解力可隨溫度與壓力條件控制而變化
※易于回收再使用

◆超臨界二氧化碳應用的優點:

※符合環保3S標準
Reduce—節約能源，減少污染；Reuse—重覆使用，多次利用；Recycle—永續資源、循環回收。
※取之不盡、用之不竭二氧化碳其實是工業副產品，如發酵工業、石化業制程中都會產生的高濃度二氧化碳，經收集純化、壓縮液化后可以儲存使用。費用便宜、可大量取得，不受有限石化能源危機影響。※環境系統自然存在物質，對環境無干擾二氧化碳在自然界無所不在，飲料、氣水和人體代謝皆是自然存在，不會對環境造成異質性侵入性干擾。不會對環境產生環境不良影響廢棄物。※無菌且可有效抑制細菌生長※無毒性、安全性高具不燃性、無爆炸性、無腐蝕性、化學安定性、無毒；不需配合防火、防爆或防腐蝕之特殊防護設備。※低溫、室溫操作，適用范圍廣泛31.2℃的低溫臨界點，因此適用之溶質的選擇性大幅提高，同時可避免對于不耐高溫物件之熱破壞。※95%以上CO2回收率很容易且可很完全地與溶質分開，即溶質和溶劑回收容易，無殘留問題。※突破性低溫萃取技術可在低溫下進行萃取，不會破壞對熱敏感之物質。※取代傳統污染較高的濕式制程

包括光電半導體產業制程之光阻涂布、顯影、蝕刻、光阻剝離、清洗、干燥、金屬沉積等，均可在超臨界或液態CO2之媒介下完成，為相當革命性之綠色生產技術。未來，超臨界CO2技術將極具潛力，兼顧環保、成本與技術上的優勢，在半導體工業成為普遍技術。然而超臨界流體在半導體工業之應用不僅止于此，比如超臨界水氧化（SCWO）技術之于有毒廢氣∕廢液處理、液態CO2干洗無塵衣等，皆有無限的可能與應用領域有待開發。

◆應用范圍:

1.?清洗:?
超臨界CO2?清洗法極適于清洗精密、微小、有微細孔洞、幾何形狀復雜的工件，由于超臨界CO2?的低表面張力，使它極易滲入奈米級的深孔、細縫中，把隱藏的污物溶解后帶出,?因為常溫常壓下CO2?為氣態存在,?故清洗完畢后不會有殘留現象,?屬于干洗制程。?
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2.?萃取:?用無不良生理作用、易揮發的二氧化碳，代替水或有機溶劑作為萃取介質，并在室(低)溫的條件下進行萃取，最大的優點在于將萃取、分離、溶劑去除等過程合為一體，能大幅簡化操作流程，提高生產效率。且因其萃取速度快、選擇性好、無殘留、不污染環境等一系列優點，沒有傳統溶劑分離、水蒸?
氣蒸餾、壓榨等分離方法，會在加工過程中破壞或減少某些對熱敏感或化學不穩定性成分，保存了天然產物原有的風味和營養成份，符合現今崇尚天然食品和回歸大自然的健康潮流。超臨界二氧化碳萃取技術主要應用在香料、食品和醫藥工業(?如中草藥,?機能性食品及精油等等)?，而對于一些用常規方法難以提取及純化的物質，超臨萃取方法更能顯示其獨特的優勢。

3.?殺菌:?
二氧化碳氣體具有抑制細菌生長的效果，而超臨界CO2?可滲透穿過細菌的細胞壁，與水結合形成低酸堿值的碳酸，阻斷細菌的新陳代謝而死亡。因此超臨界CO2?清洗法已用來清洗太空用的衛星或登陸艇等元件，以確保無生命體被帶到外太空。此外，不適合高溫滅菌的生物可降解性材料及醫療器材如內視鏡、心律調整器、血液透析管、導尿管、人體植入物等，都可以藉由超臨界CO2?清洗同時完成殺菌與洗凈的目的。?
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4.?染色:?
利用超臨界二氧化碳流體將染料滲入纖維達到染色之目的。

◆?產品/服務

1.?客制化-?制程設計及設備制造

2.?超臨界量產型萃取設備

3.?超臨界流體反應設備

4.?超臨界流體溶劑噴霧制藥設備

5.?數位式壓力控制模組系統

6.?超臨界流體干燥設備

7.?超臨界流體洗凈設備

8.?超音波萃取設備

(三)超臨界流體萃取技術(Supercritical Fluid Extraction Technology)

◆原理　

超臨界CO2萃取是CO2氣體經加壓、加溫至超臨界狀態，此狀態具備低表面張力、低黏度、高擴散性與高質傳效率的特性，同時因CO2無毒、無色、無臭、具不燃性、不產生光化學反應、對環境友善、易于回收再使用等優點，為目前超臨界萃取技術中極佳的溶劑，因此超臨界流體萃取是利用此CO2代替水或有機溶劑作為萃取介質，在室(低)溫的條件下進行萃取、分離、溶劑去除等過程，可大幅簡化操作流程，提高生產效率。

◆綠色環?？萍?/font>

超臨界CO2萃取有別于傳統萃取法的高溫蒸餾、溶劑和壓榨萃取，高溫蒸餾法的生物活性易被破壞，溶劑法所添加的有機溶劑使產出品的純度代，壓榨法在高熱壓榨時酯類香氣易流失。利用超臨界CO2萃取的特性取代傳統溶劑萃取法(使用大量溶劑對人體健康有害處而且萃取時間長)，可輕易從原料萃取出所需高純度的自然成份，萃取物無溶劑殘留和產品不受熱破壞等優點，達到成分離及純化的目的，能提供絕對健康無害的產品，可說是「綠色環?？萍肌沟妮腿》椒?。

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◆優點

?????????? ●無毒性、安全性高、具不然性、無爆炸性。
?????????? ●黏度低、穿透性高可有效深入萃取物內部，將有效成份分離出來。
?????????? ●低溫、室溫萃取，操作適用范圍廣且不易破壞天然的機能成分，特別適用于對熱敏感或易氧化之萃取物。
?????????? ●95%以上CO2回收率且使溶劑回收容易，無殘留問題。

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◆超臨界CO2萃取物?

◆超臨界CO2萃取實證?

二、高密度二氧化碳流體技術(DPCO2)

根據不同條件的壓力及溫度控制，高密度二氧化碳流體應用技術(DPCO2)，除了超臨界流體態的洗凈應用外，主要還有液態二氧化碳洗凈技術(LCO2)、固態二氧化碳應用技術(CO2-Snow?)及電漿洗凈技術(CO2-Plasma)。

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◆洗凈應用范圍:二氧化碳洗凈技術可以有效處理下列材質的表面洗凈，與污染物去除。?

適用基材	可去除污染物
金屬: 鐵、不銹鋼、鈹、金、銀、銅、鎂合金、鋁合金等…?非金屬: 玻璃、陶瓷、復合材料、Teflon、Silicone、環氧樹脂、交聯聚合物、高密度PE塑膠等…	切削油、潤滑油 石油系 矽酮油、介電油 助熔劑殘留物 塑化劑 脂肪、蠟、脂等 碳氫化物、氟碳化物 汗水、指紋

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(一)?液態二氧化碳洗凈技應用(LCO2)

◆應用原理:
當二氧化碳處于常溫下的液化壓力約64?個大氣壓，這時的密度約0.7克/?立方公分，具有下列特性:

(1)?高密度(Liquid-like density)
較高的溶解力，以液態跟超臨界態二氧化碳而言，密度越高，其溶解力越高，質傳能力也就隨之增加。

(2)?高擴散性?(Gas-like diffusivity)
具有較高的移動性，更輕易地滲入正常液態所無法滲入的細微隙縫，進而達到更深度.更細部的清洗。

(3)?高低黏度(Gas-like viscosity)
流動性、潤濕性佳有利于提升洗凈效益

(4)低表面張力(Low surface tension):0.55?達因／公分
低表面張力，使它極易滲透至各種微小孔隙之中，乃至于深入奈米級的深孔、細縫，可順利把隱藏的污物溶解后帶出，因此，極適于各類型精密、微小、有微細孔洞，以及幾何形狀復雜的工件的清洗處理。

由于液態CO2展現了極佳的溶劑特性，再加上常溫、常壓下的CO2會以氣體狀態存在，因此清洗完畢后完全不會產生殘留現象，屬于一種相當環保的干洗制程方式，不但能廣泛應用于各類型產業之清洗處理流程，更可以取代傳統高毒性有機溶劑的使用。?

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◆洗凈優勢:

※零毒性、低污染洗凈
可用于取代高科技通訊、光電半導體產業高毒性之HCFC?，或傳統衣物干洗業所用高致癌的氯化溶劑(四氯乙烯) ，以及具易燃、易爆及造成不孕癥等缺點之石油系溶劑等的使用。
※干式洗凈，節省處理時間
無需要烘干步驟，液態CO2經減壓后就成為氣體自工件表面脫離；屬于干式清洗制程。
※零水耗，省節廢水處理的環保成本
完全不用水；不需廢水或廢液處理設備，
※95%高回收率
95?％以上的CO2可回收再利用，分離出的濃縮污物可直接做終端處理或回收
※低溫/常溫洗凈，應用范圍更加廣泛
屬于高壓常溫制程，不會破壞對熱敏感的材質